全自動離子濺射儀產品參數(shù)：
1.腔體尺寸：石英玻璃，直徑150mm*高度130mm
2.供電規(guī)格：AC220V，200w
3.適用靶材：貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pd 常規(guī)金屬Cu、W、Ag 、Cr 等
4.樣品臺可調高度：20~50mm
5.樣品臺尺寸：直徑55mm
6.工作真空度：1~10Pa
7.氣體路數(shù)：單路
8.氣體流量：手動調節(jié)
9.控制：觸屏控制
10.外形尺寸：260mm*410mm*343mm(寬*深*高)
11.重量：10KG
12.真空泵：VRD-8
全自動離子濺射儀產品簡介：
1、人性化設計，儀器操作簡單，一鍵鍍膜。
2、儀器小巧，不占空間，適用于實驗室、科研院所等。
3、鍍膜均勻細密，適用于多種靶材。
4、樣品臺可以快速調節(jié)，方便取放樣品。
5、儀器性能可靠，設有多重安全保護機制。
產品型號：IS150
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